手动设备特定：晶圆片在工艺槽之间的移动，通过人工取放。工艺操作通过按钮或手动阀实现，人为干预性强。操作和维护简便，设备和使用成本投入低。

适用于企业的生产研发或高等院校、研究所研究型试验。